9月8日，中国计量科学研究院在北京组织召开国家重点研发计划项目NQI重点专项“纳米几何特征参量计量标准器研究及应用示范”项目实施方案论证会。来自北京航天航空大学、西安交通大学、天津大学、中科院微电子所等国内科研院所和重点大学的10多位专家参加会议。苏州市计量测试院作为课题承担单位参加了会议。

　　目前，我国纳米计量量值传递体系尚不完善，纳米几何特征参量标准器存在不少空白，导致产业中大量的纳米测量设备校准溯源依赖国外仪器生产商和检测机构,限制我国制造业发展。

　　苏州市计量测试院将通过开展“纳米几何特征参量计量标准器在制造产业应用示范”课题的研究，主要解决三个问题：一是针对量传体系与产业脱节的技术问题，建立纳米领域的社会公用计量标准，实现到国家计量基准的溯源。组织全国比对，确保全国计量标准量值的准确、一致、可靠。以点带面，逐步在全国范围内建立完善的纳米计量量传体系；二是针对平板显示领域中微纳几何关键参数溯源方法缺失的技术问题，应用建立纳米领域的社会公用计量标准，统一金属、非金属膜厚及ITO 电极尺寸定值过程中所涉及的扫描探针显微镜、三维光学轮廓仪等测量仪器的溯源问题。三是针对空气洁净领域中，由于测量仪器不同导致颗粒粒径定值不统一的技术问题，通过用社会公用计量标准溯源的扫描电子显微镜的微观分析技术，应用于洁净领域的空气颗粒粒径等参数的精确测量，规范空气颗粒粒径等参数的测试方法，形成行业标准，保障产业中对洁净度等级进行划分的主要技术指标的准确。

　　朱建荣副长作为课题负责人，向各位专家介绍了课题的技术路线、研究难点、任务分解及实施进度安排。课题将围绕制造产业计量需求，在产业密集区建立纳米计量社会公用计量标准，组织全国比对确保量值准确可靠一致，逐步形成覆盖全国的纳米几何量值传递体系，并开展应用示范，从根本上解决纳米几何标准器缺失和量传体系与产业脱节的问题，打破国外垄断，提升产品质量和国际竞争力。